電子電器無塵車間凈化工程裝修(電子潔凈廠房設計標準)彩鋼板隔間裝修工程，電子電器無塵車間工程——電子制造潔凈車間——無塵車間——凈化工程——電子潔凈廠房設計，電子制造潔凈車間亦名無塵室或潔凈室，目前已是半導體、制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之發(fā)展，對于產品的高度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為在科技發(fā)展上極為重視的項目，而我公司擁有多年國內外電子制造潔凈車間、無塵車間的設計、制作、安裝經驗，設計理念及施工技術在行業(yè)中。

電子電器無塵車間凈化工程適用場所：電子廠，半導體廠，光電產業(yè)，機電房.恒溫恒室實驗室，百級無塵車間潔凈廠房等。
1、電子電器無塵車間凈化路線：
電子電器無塵車間為了在操作中盡量減少人活動產生的污染，人員在進入潔凈區(qū)之前，必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身凈化”簡稱“人凈”。

人凈用房中更換潔凈服的房間應予送風，并對入口側等其他房間保持正壓，對廁所、淋浴保持少許正壓，而廁所、淋浴應保持負壓。

2、電子電器無塵車間物料凈化路線：
各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經過凈化處理，簡稱“物凈”。物料凈化路線與人凈路線應分開，如果物料與人員只能在同一處進入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經過粗凈化處理。電子制造潔凈車間氣流→初效過濾器凈化→空調→中效過濾器凈化→風機送風→管道→凈化高效送風風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效過濾器凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。

電子制造潔凈車間節(jié)能原則：電子制造潔凈車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。電子制造潔凈車間之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成電子制造潔凈車間的運行性能降低和能耗增加。

一、電子電器無塵車間主體工程:
1、地面：
A、主廠房：承載力>=2噸/平方米，有防水層，面層要求水磨石，設備房地面承載力要求>2噸/平方米，面層為水泥漿原漿找平;

B、庫房：一樓地面要求承載力>=3噸/平方米，二樓地面承載力>500 kg/㎡，面層均要求水磨石，水磨石表面平整，接縫平直，縫漿飽滿，縱橫方向無明顯錯臺錯位，地面找平處理后,局部的平整度誤差不得高于2mm/2M2;

C、氫氣站、硅烷站地面承載力>2噸/平方米,面層為水泥漿原漿找平;

2、高度：要求廠房最低凈高6000mm;倉庫層高5000mm;

3、跨度：橫向8000m，縱向7～8m(見詳設備布局圖)，設備房寬度要求9000m;

4、屋面荷載：空調機房頂屋面要求>500kg/㎡，尾氣處理位置>500 kg/㎡(本荷載沒有考慮風載、雪載等，若有屋頂發(fā)電站則要考慮電站的基本參數);
5、裝修：設備房、庫房、非潔凈區(qū)域、氫氣站、硅烷站要求中級抹灰粉刷，潔凈區(qū)域要求水泥砂漿粉刷，衛(wèi)生間按中等標準裝修;

6、門、窗：
A、 門：進/出貨門為5000×5000MM卷簾門，向外開的衛(wèi)生間門為850mm×3000mm，設備房外墻門為3500×3000mm，安全逃生門為1200mm×3000mm，其他外墻門為4000mm×3000mm;
B、窗：廠房窗為高窗，窗臺高度為4000mm，每跨有一扇可推拉;庫房窗一樓為高窗，窗臺高度為4000mm,每跨有一扇可推拉，二樓以上按標準廠房設計;

C、泵房窗：泵房窗為固定磨砂玻璃隔熱保溫窗，每跨有一扇可推拉，長方向要設計對流排氣風機且要考慮冬季保溫;

D、天窗設置要符合設備布置要求;

E、參觀窗(樓梯)設置要符合二次裝修及參觀通道設計要求;

7、衛(wèi)生間：衛(wèi)生間布局要按照甲方統(tǒng)一圖紙規(guī)劃;

8、氫氣站、硅烷站、氮氣站、特氣房的設計均要按照相關規(guī)范及甲方設備布局要求進行設計;

9、消防工程：主廠房消防設計要根據二次裝修需求和布局進行統(tǒng)一設計，滅火器要求用手推式二氧化碳滅火器;設備房、特氣房、氣站及庫房可按照相關消防規(guī)范、標準進行設計，特氣站、特氣房的防雷、避雷和防靜電要符合要求，主廠房內部防火墻的設計應按照裝修布局給予考慮;

10、照明：庫房、設備間、衛(wèi)生間的照明按相關規(guī)范進行設計，主廠房內部照明不需設計;

11、電梯與卸貨平臺：庫房電梯要求B1800mm×L3000mm,電梯開門寬度最少1800mm，載重>3噸;卸貨平臺要按照要求設置;
12、設備配套設施：

A、設備接地布置要按照設備布置圖進行設計;

B、設備排水(管/溝)及循環(huán)水設施要按照工藝及設備布置要求進行設計;

C、地面鋪設鋼板位置要按照設備布置要求進行設計;

D、循環(huán)水池和循環(huán)水的設計要按照工藝要求進行設計;

E、設備房及屋頂設備的設備基礎要按照設備基礎設計要求進行設計;

F、自來水用量要求：80T/H，各進水口具體位置要滿足工藝要求，且每處進水口均應配備閘閥和水表;電用量要求：10000KVA;

G、供熱：設備房、庫房、衛(wèi)生間按當地供熱標準進行設計，廠房空調房區(qū)域應預留DN300的熱水管，壓力為0.3MPa~0.4MPa，水溫60～80℃，具體供暖在二次裝修考慮;

H、車間層壓機段要設計地下室(用于做真空泵，本地下室需要通風排風，防水設計);

I、廠房為丙類。

二、超凈裝修設計要求：
(1)、車間布局與結構

1、凈化區(qū)域各房間吊頂標高：
車間凈化工程中正常區(qū)域的標高為2.8m，PECVD區(qū)域為特殊區(qū)域，其標高為3m。彩鋼板防火墻設置要符合消防規(guī)范要求，在潔凈區(qū)域與非潔凈區(qū)域交接處的墻體應做到屋面板底。

2、凈化區(qū)域隔墻：
車間凈化區(qū)域的隔墻需嚴格按照公司提供的圖紙施工，對特殊區(qū)域有要求按先后順序施工的必須按公司要求進行施工。
3、地坪指標要求：
3.1、車間地坪需要做平整，在一平方米區(qū)域內伏不超過1mm，以便設備安裝找平;

3.2、車間地坪不會脫層、不起灰塵及耐磨，不起泡，氣泡允許每平方米1個，且要小于直徑2mm。

3.3、地面要求：超凈間地面要求用環(huán)氧樹脂自流平，組件段采用環(huán)氧薄涂，氣體房(含氫氣、硅烷及特氣間)也用薄涂。
4、車間鋼質鋼板門和窗的尺寸：

4.1、單扇門的尺寸為1000*2100mm;

4.2、雙開門的尺寸為2200*2700mm;

4.3、安全逃生門的尺寸為1200*2100mm;
4.4 防火墻防火門尺寸為2400*2800mm;

4.5、活動墻的尺寸為4000*2700mm(施工中可分成兩扇2000*2700mm);

4.6、PECVD后的觀察窗的尺寸為300*150mm，辦公室、冷卻間門上的觀察窗為尺寸為350*500mm;

4.7、層壓機、白玻璃清洗機、一次清洗機觀察窗的尺寸為：1150*400mm;

注：相同型號門開孔的高度需一致。

5、設備隔墻準確位置、開口大?。?br /> 因部分設備在安裝過程中有穿過彩鋼板，因此隔墻的開口位置、大小應適應設備需求現(xiàn)場開口。

6、車間風淋室：
人員進入超凈前應經過風淋室，風淋室為雙人通行。風淋室應自帶互鎖裝置，人員進入風淋室在未達到預設吹風時間的情況下不能進入車間，吹完后人員進入車間，在出門未合上前進門不能開啟，直到出門合上后方可打開進門放人員進入。貨物風淋間開門尺寸為2200*2400mm。

7、無塵車間頂部的消防排煙裝置：
設計單位在設計時需要對無塵車間頂部的消防排煙送風及排風做好設置?，F(xiàn)在土建施工圖上已有設計的部分要盡量充分利用。

8、緊急逃生門為專用逃生門。

9、車間消防設施：
車間消防需按消防標準設計，消防噴淋采用空氣預作用啟動方案進行設計，在冷卻區(qū)、退火區(qū)和PECVD區(qū)域的噴淋頭要求耐高溫>120度。

(2)、空調部分
1、車間溫度、濕度、潔凈度指標
車間潔凈區(qū)的溫度為25℃±2℃，濕度30%~60%，潔凈度超凈都為10萬級。更衣室、風淋間、冷卻間、工件架擦拭、工件架清洗采用10萬級送風，排風采用直排。退火間、冷卻間的溫度應控制在30℃以下，濕度應小于<60%。

2、車間工藝用冷卻循環(huán)水使用單獨的制冷設備，工藝冷卻水在往設備供水時應保證供水的水溫在17-21℃。

3、凈化送風風口以及非凈化送風風口位置要求：
凈化區(qū)風口與非凈化區(qū)風口除PECVD外沒有特殊要求，只要能滿足溫度及濕度要求即可。PECVD風口要求：高效送風口不得直吹PECVD沉積室及預熱爐，回風口不得安排在PECVD沉積爐排氣管后面。

4、空調機組所需電力需求、占地面積：
設計單位應提供空調機組所用的功率，空調機房機組設備基礎所占用的面積和基礎圖，以便在前期施工中實施。

5、空調用水量的預估
設計單位在中標后，應及時提出空調的冷、熱水用水量，以便在土建過程中完成管道的施工。

6、空調的控制要求：
因生產過程中車間空調屬無人值班的設備，因此設計單位在設計時應采用自動控制系統(tǒng)，以便設備的正常運行。

7、空調回風過濾要求：
空調送風是10萬級的，經過與超凈間內部空氣的接觸，整個回風中會攜帶大量的細小粉塵回到空調主風箱中而污染主風箱過濾網，因此在所有的空調回風口都需要安裝過濾網。

8、排風要求：
退火間、冷卻間、工件架擦拭間、工件架清洗機、車間門口換鞋區(qū)都應采取單獨排風系統(tǒng)，上述回不得與其它區(qū)域的回風混合。各排風量需設計單位依據各功能間的面積算好換風次數，排風次數要求大于30次/小時，以保證各功能間的正常使用。

9、風管制作安裝要求：
設計單位設計空調管路時要注明管路材料標準，風管制作時應保證材料表面的清潔，送風管道及回風管道在安裝完后應及時做好密封工作。

10、其它要求
通風管道在設計時應避開車間采光口(采光口詳見車間土建施工圖紙)。

11、空調冬季制暖使用熱水制暖的形式。

12、每個消火栓和閘閥均應設計獨立可開的彩鋼門。

(3)、電器部分
1、超凈間各房間照度要求：
超凈間照度在>150(LUX)，員工操作區(qū)域為250LUX。

2、凈化間照明控制要求：

2.1凈分間照明可采用本地控制加分片總控，單個開關控制照明燈小于20盞;

2.2 PECVD的照明控制需要離開PECVD沉積室一定的距離(大于8米);此部分燈具要求耐高溫》120度且不能直接裝在PECVD頂部，應設計在兩沉積室的中間頂部或前方。

3、凈化間插座安裝位置、高度要求：
3.1凈化間的每一根柱子上都需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔插座及一個三孔插座，高度為離地面75cm;

3.2 非凈化區(qū)凈化區(qū)的每根柱子上也需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔插座及一個三孔插座，高度為離地面75cm;

4、照明、插座以及動力設備電源引入位置：

照明與插座將共用一路主電源，照明也同樣需要經過漏保，電源將從車間配電房引入，動力電也是從車間電房引入，吊頂以上要有維修照明燈和維修插座。

5、消防用電源引入位置。

消防用電從車間配電房兩個不同的變壓器下的低壓柜引入。

6、安全指示牌、應急燈都需按標準潔凈廠房設計(盡量充分利用土建施工現(xiàn)有設計的部分)。

7、非超凈間的照明要求：

7.1 超純水房、空調房的照度為100LUX;

7.2 氣體房的照度為100LUX，氣體房的燈應使用防爆燈。

7.3 磨邊區(qū)、組件后段的照度為150LUX，操作區(qū)域為250LUX，采用節(jié)能燈(鋁合金廣照燈)。

8、工藝設備用電：
8.1工藝設備用電依設備需要確定給設備配備電纜，設備電纜在設計過程中需滿足設備工藝用電的需求，能確保設備用電安全;
8.2 精密設備與其它動力設備需分開單獨拉線，如激光設備的電纜需與其它設備用電分開。

9、配電箱設計：
每個配電箱在設計時除把主要用電設備的空開計算在內，另外還需留有一些備用空開以滿足增加部分設備及維修接電。
10、車間配電房接地：
因車間設備均屬于大功率設備，設備使用過程中會有很大的電流。因此在電房建造過程中應做好電房接地，以保證車間設備的使用安全。

11、所有設備和功能性電源的電纜均應按最短路徑原則進行設計，電纜和空開的計算不要太保守盡量不擴大系數。

(4)、水部分：
1、自來水，車間生產過程中需使用自來水的地方：

1.1 純水間;

1.2 磨邊間;

1.3 氣體房;

1.4 空調房;
注：以上地點用水量視車間規(guī)模大小而定，設計部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一分段主管需增設主閥門，未端需增設分控閥門，以便設備維修時控制。

2、超純水，車間生產過程中需接入超凈水的設備：

2.1 二次導電玻璃清洗(導電玻璃一次清洗將使用二次清洗使用過的水);

2.2 白玻璃清洗;

2.3 芯片清洗;

注：設計部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設一個主閥門，未端需設分控閥門，以便設備維修時控制?？紤]到各清洗工序對用水的質量高，因此在純水供水點的未端需加一個電阻率測量儀，以便及時掌握純水設備產水的情況。

3、冷卻循環(huán)水，車間生產過程中會使用到冷卻循環(huán)水的設備：

3.1 PECVD匹配器、分子泵;

3.2 PECVD真空泵系統(tǒng);

3.3 磁控線真空泵系統(tǒng)、磁控線加熱箱冷卻系統(tǒng)、靶材冷卻;

3.4 層壓機真空泵系統(tǒng);

注：設計部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設一個主閥門，未端需設分控閥門，以便設備維修時控制。管道焊接時應及時將橡塑保溫管套上，防止管道表面結露水。

4、水循環(huán)利用補充說明

4.1 磨邊區(qū)域水的循環(huán)利用，磨邊區(qū)域產生的磨邊廢水經過沉淀池去除二氧化硅粉顆粒后，經過潛水泵再返回到磨邊機儲水槽中進行利用，以充分利用水資源。

4.2 純水間制超純水產生的濃水因其含礦物質較多無法再將其再用于制造超純水，但可以將其收集起來用于廠區(qū)清潔及花草養(yǎng)護，以提高水資源的利用率。

4.3 清洗層電玻璃、白玻璃、電池芯片的去離子水，經過上述工序的去離子水中會新增粉塵或清洗劑，其PH值約為8-9。這部分水經過過濾及酸堿綜合后將可作為純水制造的源水使用。

4.4 建議設計充分考慮水循環(huán)方案。

(5)、氣部分，車間生產過程中使用以下幾種氣體：

1、壓縮空氣，用到壓縮空氣的設備有：

1.1 磨邊機;

1.2 一次激光機、二次激光機、三次激光機;

1.3 二次清洗機;

1.4 每臺PECVD沉積室，每兩臺真空泵系統(tǒng);

1.5 磁控線(PVD);

1.6 掃邊機;

1.7 芯片測試機;

1.8 反壓機;

1.9 層壓機;

1.10 組件測試機;

1.11 組件打膠區(qū);

1.12 氣體房;

1.13 純水間;

1.14 芯片清洗;

1.15 自動化傳送線。

注：空氣壓縮機的供氣壓力為8-9Kg，輸氣管道的正常壓力在8Kg。因輸氣管道較長，在設計時應的各主要用氣點設置氣壓表，以便及時了解管道氣壓情況及點檢之用。

2、氮氣，用到氮氣的設備有：

2.1 一次激光機、二次激光機、三次激光機、掃邊機;

2.2 工件架擦拭;

2.3 純水設備;

2.4 PECVD真空倉室、干泵;

2.5 磁控線(PVD);

2.6 氣體房氣路柜;

2.7 尾氣處理(壓力6-7kg)

注：氮氣的供氣壓力為4-5Kg，輸氣管道的正常壓力在4Kg。因輸氣管道較長，在設計時應的各主要用氣點設置氣壓表，以便及時了解管道氣壓情況及點檢之用。

3、特殊氣體，需使用特殊氣體的設備為PECVD沉積室。

(6)、車間設備排氣部分：

1、清洗機

1.1一次清洗機每臺的排氣量為 1500立方米/小時(在超凈間外，可忽略)

1.2二次清洗機每臺的排氣量為 1000立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。

1.3芯片清洗機每臺的排氣量為1500立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。

1.4白玻璃清洗機每臺的排氣量為900立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。

2、激光掃邊機
激光掃邊機每臺風機的排風量為3800立方米/小時。激光掃邊機的排氣主要含有大氣及激光掃邊過程中產生的粉塵。此排氣可以通過專門的排氣管道直接排至大氣中。

3PECVD油泵、維持泵，PVD油泵，層壓機油泵排氣
3.1PECVD每臺的排氣量為180立方米/小時;

3.2PVD每臺的排氣量為120立方米/小時;

3.3層壓機每臺的排氣量為 252立方米/小時;

3.4以上油泵排氣可以通過一條特殊管道(如鍍鋅圓管加一防爆排風機)來實現(xiàn)從車間至外界的排氣。油泵排出氣體的主要成份為大氣及油泵自身的油氣，排出的氣體可以通過除油后直接排往大氣。

4、PECVD干泵排氣

4.1PECVD每臺干泵的排氣量為5立方米/小時，

4.2其主要排出的氣體為PECVD工藝過程中未完全反應完的特殊氣體及特殊氣體在工藝過程中產生的粉塵。

4.3PECVD干泵排氣因其存在特殊氣體及粉塵，因此從PECVD干泵出來的氣體需要經過燃燒爐及除塵器處理后方可將尾氣排入大氣中。

4.4各臺PECVD干泵出來的尾氣需要經過管道集中起來后送入燃燒爐，尾氣管道需要采用無縫鋼管及無縫焊接。

5、氣路柜、氣瓶柜、VMB排氣

5.1 氣路柜每臺需求的排氣量為300立方米/小時;其排氣的主要成分為大氣，特殊情況下會含有一些泄露的工藝氣體，
5.2 氣瓶柜每臺需求的排氣量為250立方米/小時;

5.3 VMB每臺需求的排氣量為50立方米/小時;

5.4其排氣的主要成分為大氣，特殊情況下會含有一些泄露的工藝氣體。工藝氣體在遇到大氣的情況下都能自燃，因此上述排氣可以通過管道直接排至大氣中。

(7)、設備發(fā)熱量
1、車間內會存在加熱的設備或存在散熱的設備

1.1各種清洗機的風刀產生的熱風，因采用排風管，此處的熱風可忽略;

1.2PECVD沉積爐，其加熱系統(tǒng)功率為12KW，設備的尺寸為1970*1627*1365mm，共有六個散熱面，散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。

1.3預熱爐，其加熱功率為40KW，設備尺寸為1970*1627*1365mm，共有六個散熱面，散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。
1.4退火爐，其加熱功率為30KW，設備尺寸為，共有六個散熱面，散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。

1.5做完工藝的工件架，此工件架為一個含37塊鋁基板及72片導電玻璃的設備，此設備的溫度需要在3小時內從200攝氏度降到50攝氏度。設備及玻璃的尺寸分別為1320*1200*950mm,1245*635*3.2mm。

1.6層壓主機外及層壓好的電池板，層壓主機區(qū)域溫度為40-60攝氏度，層壓好的電池板溫度為120-130攝氏度，尺寸為1245*635*8mm，電池板的溫度需在3小時內要降至50攝氏度。